潔凈層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后,形成均流層,使潔凈空氣呈垂直單向流,從而保證了工作區內達到工藝要求的高潔凈度。
我們從 3個方面展示層流罩的性能。
(1)整體氣流結構
圖2所示為截面A處的速度分布云圖??諝鈴?a href="http://www.c20nd.cn/" target="_blank" rel="noopener">層流罩下來后進入到工作區,再通過高架地板進入到下技術夾層,并通過一根回風管道進入到層流罩上方??梢钥吹剑趯恿髡窒路剿俣容^高,局部區域潔凈度等級較高。
圖3所示為流線圖??梢钥吹?,流線在進入到下技術夾層后向回風道處偏折,流道面積急劇收縮,氣流速度增加。