1 MAU+FFU+DC詳細介紹

目前電子行業潔凈室常用的MAU+FFU+DC系統，MAU主要控制室內的濕度和保證室內的正壓，FFU通過空氣循環過濾保證潔凈度，而DC是來除去室內的顯熱從而保證室內的溫度。(1)MAU(Make—uDAirUnit)組合式外氣空調箱是由風機、冷盤管、熱盤管(或電加熱)、空氣過濾器(初級、中級、高級三級過濾)、加濕器組成，通過初中效過濾、預熱、降焓、減濕、再熱、高效過濾后送入回風層。

(2)FFU(FanFiherUnit)是模數化的小型風機過濾單元，安裝在頂棚框架上，空氣由FFU的風機加壓后經HEPA或ULPA過濾送入室內，如此循環，其換氣次數直接決定室內潔凈度的不同。FFU的技術性能取決于風機和HEPA或ULPA的質量，制造廠一般是通過額定工況下的性能參數，或FFU整機的空氣動力特性曲線。FFU的風機均采用外轉子電機以減小高度，一般配有電子式過載保護開關、故障指示燈，故障輸出節點，有傳統的低、中、高三檔交流控制，目前直流變頻控制亦越來越應用在潔凈等級比較高的系統。早在上個世紀6O年代，美國新墨西哥州Sandia國家實驗室的科學家們利用HEPA過濾的方法研制成功了層流技術，其后商用FFU陸續在美國一些手術室及工業廠房得到廣泛的應用。

但直到1984年，在亞洲才出現大規模應用FFU的事例(大約有5000臺)。是什么原因導致FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發展呢?有三個問題占主導地位：噪聲較大問題；壓力平衡問題，在很大的靜壓箱里，各不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的；維護問題，FFU本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業不選擇使用FFU的主要原因。

但是這一切，在1984年都發生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65dBA以下，這符合工業廠房的標準。其次隨著自動控制的發展，監測和調節各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。

現在，隨著半導體電子技術的發展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級，而FFU系統本身也有著其獨特的優勢，主要包括以下幾點：

①靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

②可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

③負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于沽靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

④縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

⑤減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。

⑥節約空間。相比較RCU+HEPA系統，MAU+FFU+DC系統占用送風靜壓箱內較少層高，且基本不占用潔凈室內空間。而RCU不論是吊掛在天板上方還是設置在潔凈室，均占用不少空間。

(3)DC(Drycoil)干盤管

大循環量的匯豐的冷卻就是由排數少、迎面風速低、水溫高(12～17″12)的干盤管承擔，由于該冷卻盤管的表面溫度高于回風的露點溫度，換熱器的表面沒有液體水洗出，即沒有冷凝水，只是除去了室內空氣的顯熱，故稱其為干盤管。

干盤管一FFU系統與其他方式相比較有以下幾條有點：

①靈活性大，滿布率高。對于Ic工廠而言潔凈空調系統的靈活性是非常重要的，其隨著市場產品更新換代快而帶來的變更會很多的。若果車間內潔凈度隨工藝變化而需做局部區域性調整時，可通過改變FFU風量或置換盲板來改變局部區域的潔凈度。檔密集不只是，漫步率可達85．5％。

②FFU上部頂棚為負壓，可起負壓密封的作用。頂棚內呈負壓，潔凈室內空氣壓力大于頂棚內的空間。如果FFU與支架密封處有縫隙，則由于頂棚內為負壓使得未經高效過濾器的空氣不能進入室內，對保證潔凈室的潔凈度有力。

③空氣流動系統的阻力小，出風口的風速低。干盤管的迎風面積較大，空氣流動阻力在50Pa左右；回風道阻力在15Pa以內；多孔及格柵等的阻力較小。回風全部阻力(包括多孔地板、格柵及風道)、干盤管阻力及高效過濾器的阻力，總和在250Pa以內。FFU的出口風速一般在O．38～0．45m／s范圍。

④單位風量的能耗較低。采用FFU后不需要再增設加壓風機，風機化整為零，不需專設機房，同時取消了送風管路的阻力。當FFu采用DC／EC(電子整流)電機時，出口風速可在0．15～0．4m／s之間調整，電機的效率可達75～80％，可每臺根據過濾器降壓進行調速控制以節約能耗。所以單位風量的能耗一般比大型離心風機的集中系統為低。并且隨著半導體技術的不斷發展，可以預料，～些簡單可靠、性能優異、價格便宜的變頻調速系統將不斷出現，異步電動機的變頻調速方法的應用將日見廣泛，并將最終取代直流調速方式和調壓調速方式。

2 MAu+FFU+DCC常用系統控制簡介

2．1外氣空調箱MAU之控制

(1)由空調箱出口風管上之露點溫度傳送器，控制空調箱之冷卻盤管冷凍水流量，當送風露點高于設定值時，增加冷卻盤管冷凍水控制閥開度，加濕器不動作。由空調箱入口外氣露點溫度傳送器，控制空調箱之加濕泵，當露點高于設定值時，加濕泵啟動。

(2)由空調箱出口風管上之溫度傳送器，控制空調箱之再熱盤管加熱量。當送風溫度低于設定值時，增加再熱盤管冷凍水控制閥開度。

(3)由空調箱加熱盤管出口焓值傳送器，控制空調箱之加熱盤管加熱量。當送風焓值低于設定值時，增加加熱盤管熱水控制閥開度。

(4)由送風主風管上之壓力傳送器，控制風扇變頻器轉速，以維持風管內定壓。及當風扇起動10s后，無壓力被感測到，則風機跳脫運轉。

(5)空調箱之初、中級及HEPA過濾網，分別設置壓差指示器供維修人員判斷清理濾網。

2．2無塵室運轉模式

(1)以無塵室內之溫度傳送器控制干盤管的冷凍水閥開度，維持室內恒溫。

(2)以廢氣排氣風管之差壓傳送器控制排氣風機之變頻轉速，維持排氣系統負壓。

(3)以無塵室內之差壓傳送器控制外氣風管之控制風門，調整外氣量，維持室內相對正壓。

(4)由送風主風管上之壓力傳送器，控制MAU風機變頻器轉速，以維持風管內定壓。