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FFU層流置專題
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FFU風機過濾機組使用維護說明書

2025-11-13

FFU風機過濾機組使用維護說明書

????????????????????????????執行標準:Q/320500BSK 010-2004

FFU風機過濾機組

 

安裝?使用?維護說明書

 

請詳細閱讀本說明書,并妥善保存,以備日后維護時參考。

 

 

 

 

 

????

1.????概述

1-1風機過濾器單元………………………………………………………………………………………………………………?3

1-2結構及特點…………………………………………………………………………………………………………………….?4

2.????重要安全事項

2-1安裝使用環境………………………………………………………………………………………………………………….?5

2-2運送與安裝…………………………………………………………………………………………………………………….?5

2-3安裝?使用注意事項……………………………………………………………………………………………………….?5

3.????使用說明

3-1運轉前點檢事項………………………………………………………………………………………………………………?6

3-2運轉時注意事項………………………………………………………………………………………………………………?6

4.????維護說明

4-1日常維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7

4-2定期維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7

4-3故障排除………………………………………………………………………………………………………………………..?8

? ? ?附……………………………………………………………………………………………………………………?9

本說明書內容包含風機過濾器單元的安裝?使用?維護?方法,本機體是安裝在潔凈區域天花板上,藉由濾網捕捉室內空氣中的塵埃,為能平穩且安全地發揮機體性能,使用前請詳細閱讀此說明書。

 

 

1.概述

1-1風機過濾器單元

風機過濾器單元(FFU)是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。

風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEPA過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導體、液晶制造業、電子、生物制藥.等行業。

●使用環境

?周圍溫度:5℃~40℃

?濕度:低于85%RH(沒有濕氣凝結狀態下)

?周圍空氣:一般室內空氣

?清凈度:100-10級

?請避免連續反復ON/OFF操作機體

 

如果在未符合上述條件的環境下使用風機濾網機組,將會影響制品性能,并可能會發生電氣短路現象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。

為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第4頁的?重要安全事項?。
1-2
結構及特點

(1)?主要部件

FFU風機過濾機組結構” alt=”FFU風機過濾機組結構” />

圖1??標準品范例

FFU結構

 

(2)?表1.?部件明稱及功能(參考圖1)

 

No.

部?品?名?稱

功????????????用

備??注

1

初效濾網 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 根據環境可用可不用

2

外殼 設備外殼

可選優質冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料

3

把手 方便搬運

4

吊環 機體吊裝

選配件

5

導流消聲裝置 引導氣流及消除噪聲

6

風機系統 為設備提供動力

風機選用美日合資M-R電機

7

高效濾網 可過濾微小粒徑的灰塵

效率99.99%@ 0. 3um

可選各種效率的濾網

8

控制系統 調速及開關電源

 

2.重要安全事項

 

不當使用風機過濾器單元組將會造成制品性能降低,使用時請務必遵守下列事項:

2-1?安裝使用環境

●風機過濾器單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱源。

●?設置風機過濾器單元場所不可放置易燃物,以免發生火災。

●?請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發性的化學物品,如果機體吸入這些化學物品將有可能會導致火災或爆炸等事故發生。

●?請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學藥品,如果使用這些化學藥品將有可能會導致機體腐蝕及損壞。

 

2-2?運送與安裝

●?請在風機過濾器單元包裝完好的狀態下搬運制品,搬運時務必保持水平,如果使用輕便推車等工具運送時,請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。

●?機體安裝后,機體上方至少須預留30公分以上的空間,以利將來機體維修,未預留足夠的維修空間,機體將無法進行維修及部件更換。

●?試運轉前,請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。

?

2-3?安裝?使用注意事項

●風機過濾器單元安裝于無塵室時,請務必遵守下列指示

?當進入無塵室時

請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內。

請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內。

請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內。

點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產生灰塵。

 

●?切勿直接重壓風機過濾器單元機體,以免造成機體變形。

 

●?請勿以沾濕的手操作機體,以免發生觸電危險。

 

●?請勿遮蔽機體吸入口及吹出口,機體吸入口及吹出口被遮蔽,將導致機體性能無法正常發揮,造成機體功能異常或電氣部件損壞。

 

●?實施第三種接地工事,以避免電擊產生之危險。

 

 

3.安裝使用

 

?

3-1運轉前檢查事項

運轉前請先檢查下列注意事項:

●?機體外部電源是否連接,電源供應是否妥當。

●?機體接地工事是否已實施。

●?機體上方空氣吸入口及下方濾網的保護膜是否已取下。

3-2運轉時注意事項

(1)?開始運轉

●?當電源開啟后,機體即開始運轉。

●?機體運轉后請確認是否有異常現象。

當有下列情形發生,機體無法正常運轉時,請向經銷服務人員反映。

●?機體內部有異物,機體離心風扇無法正常旋轉。

●?機體內部電線脫落,接頭松脫。

●?機體內部電氣部件,如過電源插頭、馬達損壞。

(2)?停止運轉

●?運轉后如發現異常現象,請即切斷電源,停止機體運轉。

 

 

 

4.維修?點檢

 

 

●?自購買日起進行定期檢查,請勿自行檢查,以免造成觸電或火災等事故發生。

●?除了維修人員外,請勿自行拆解、修理或變更規格,以免造成觸電或火災的發生。

●?當更換濾網等部件時,請注意不要損壞濾紙。

●?維修?點檢時,請務必先切斷電源,停止機器運轉后再實施,以免發生觸電或傷害危險。

●?當安裝?維修?點檢完成后,在機體起動前,請確定機體基礎穩固。

 

 

 

 

 

4-1日常維護

每天工作開始之前請依表2.點檢下列各項,當發現有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。

表2.?日常維護

 

NO.

點檢專案

判斷標準

1

離心風扇及馬達 ?離心風扇必須旋轉平順,沒有產生異常聲音,若聽到異常聲音,請確認送風機內有無異物以及馬達軸承的聲音是否異常,若馬達有問題,請更換馬達。

2

濾網 ?濾網表面有無損傷、污點、骯臟….等

3

機體外觀 ?機體外觀有無損傷

 

4-2定期維護

使用風機過濾器單元一段時間后,因使用環境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉,請務必實施下列定期點檢。

4-2.1定期維護

(1)定期維護項目
請依表3.所示,對風機過濾器單元實施定期點檢,當部件壽命已至時,請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會因使用環境及使用狀況而有所差異)。

(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發生,停機再啟動后,請務必實施相同的檢查。

 

3.?定期維護項目

 

部件位置

征兆及可能原因

評價標準,確認點

檢查頻率

部件壽命

馬達 (1)軸承損壞而使馬達運轉不平順或死鎖。

(2)絕緣不良造成過熱、過載導致線圈燒損。

(3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發熱、接地錯誤、層間短路…..等。

?確認馬達有無異音、振動及味道,用耳朵確認軸承有無異常聲音。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕,更換不良部件。

一年一次

5年以上

離心風扇 (1)因灰塵迭積或破損使得運轉不平衡而損壞。 ?檢查離心風扇有無異音、振動及破損,更換不良部件。 一年一次

5年

其它的電氣部件及配線材料 (1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。

(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。

?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導體,配線表皮破損…..等。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。

一年一次

5年

濾網 (1)因阻塞而造成風速減低。

(2)因化學藥品而造成濾網材質、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。

(3)因外部熱源造成濾網材質不良。

?目視檢查濾網材質、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。

?檢查泄漏更換不良部件。

一年一次

?(視不同使用場所需要而定)

外箱

及其它組件

因化學藥品而使部件腐蝕或生銹產生灰塵。

 

?目視檢查部件有無不良、褪色….等。 一年一次

其它部件8年

 

4消耗性部件的更換期間?(?我司建議?)

 

 

部??品

更?換?期?間

濾網

1-2年(室內清凈度100,000級的場所)??

初效濾網

每3個月(不同場所而有所區別)

馬達

5年以上

 

注:濾網更換期間會因不同使用場所的差異而有所不同。

4.2.2點檢完成

點檢完成后,清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉狀況;保留點檢報告,當部件更換或機體更新時作為參考。

4-3故障排除

?若有以下現象發生,連絡本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現象(盡可能詳細),然后慎重的調查問題的起因及采取適合的改善措施。

 

現????象

可??能??原??因

改??善??措??施

離心風扇不運轉 ?電源未打開

?馬達束心

?電器件損壞

?馬達不良

?打開電源

?拆除外表的異物

?更換電器件

?更換馬達

離心風扇產生異常者(運轉中) ?馬達外殼與離心風扇接觸 ?連絡經銷商及采取適合的改善措施

 

 

●?非服務技術人員請勿拆解、修理或修改風機過濾器單元,以避免造成嚴重的意外,例如觸電或火災。

 

 

 

 

附錄

易損件規格表:

序號 名稱 規格型號 單位 單臺數 備注

1

風機 M-R風機

1

 保修期:三年

2

電容 4uf,500V

1

 

3

玻纖無隔板過濾器  

1

99.99%@o.3um

4

初效過濾器  

1

 可清洗

 

●?當需要更換服務備品時,請務必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務人員。

●?任何未經認可之代用品,不僅可能會影響風機過濾器單元的性能,同時可能造成火災、觸電或其它危險。

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