FFU風機過濾機組使用維護說明書
????????????????????????????執行標準:Q/320500BSK 010-2004

安裝?使用?維護說明書
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目????錄
1.????概述
1-1風機過濾器單元………………………………………………………………………………………………………………?3
1-2結構及特點…………………………………………………………………………………………………………………….?4
2.????重要安全事項
2-1安裝使用環境………………………………………………………………………………………………………………….?5
2-2運送與安裝…………………………………………………………………………………………………………………….?5
2-3安裝?使用注意事項……………………………………………………………………………………………………….?5
3.????使用說明
3-1運轉前點檢事項………………………………………………………………………………………………………………?6
3-2運轉時注意事項………………………………………………………………………………………………………………?6
4.????維護說明
4-1日常維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7
4-2定期維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7
4-3故障排除………………………………………………………………………………………………………………………..?8
? ? ?附錄……………………………………………………………………………………………………………………?9
| 本說明書內容包含風機過濾器單元的安裝?使用?維護?方法,本機體是安裝在潔凈區域天花板上,藉由濾網捕捉室內空氣中的塵埃,為能平穩且安全地發揮機體性能,使用前請詳細閱讀此說明書。 |
| 1.概述 |
1-1風機過濾器單元
風機過濾器單元(FFU)是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。
風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEPA過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導體、液晶制造業、電子、生物制藥.等行業。
●使用環境
?周圍溫度:5℃~40℃
?濕度:低于85%RH(沒有濕氣凝結狀態下)
?周圍空氣:一般室內空氣
?清凈度:100-10級
?請避免連續反復ON/OFF操作機體
如果在未符合上述條件的環境下使用風機濾網機組,將會影響制品性能,并可能會發生電氣短路現象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。
為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第4頁的?重要安全事項?。
1-2結構及特點
(1)?主要部件
FFU風機過濾機組結構” alt=”FFU風機過濾機組結構” />
圖1??標準品范例

(2)?表1.?部件明稱及功能(參考圖1)
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No. |
部?品?名?稱 |
功????????????用 |
備??注 |
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1 |
初效濾網 | 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 | 根據環境可用可不用 |
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2 |
外殼 | 設備外殼 |
可選優質冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料 |
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3 |
把手 | 方便搬運 |
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4 |
吊環 | 機體吊裝 |
選配件 |
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5 |
導流消聲裝置 | 引導氣流及消除噪聲 |
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6 |
風機系統 | 為設備提供動力 |
風機選用美日合資M-R電機 |
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7 |
高效濾網 | 可過濾微小粒徑的灰塵
效率99.99%@ 0. 3um |
可選各種效率的濾網 |
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8 |
控制系統 | 調速及開關電源 |
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| 2.重要安全事項 |
不當使用風機過濾器單元組將會造成制品性能降低,使用時請務必遵守下列事項:
2-1?安裝使用環境
●風機過濾器單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱源。
●?設置風機過濾器單元場所不可放置易燃物,以免發生火災。
●?請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發性的化學物品,如果機體吸入這些化學物品將有可能會導致火災或爆炸等事故發生。
●?請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學藥品,如果使用這些化學藥品將有可能會導致機體腐蝕及損壞。
2-2?運送與安裝
●?請在風機過濾器單元包裝完好的狀態下搬運制品,搬運時務必保持水平,如果使用輕便推車等工具運送時,請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。
●?機體安裝后,機體上方至少須預留30公分以上的空間,以利將來機體維修,未預留足夠的維修空間,機體將無法進行維修及部件更換。
●?試運轉前,請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。
?
2-3?安裝?使用注意事項
●風機過濾器單元安裝于無塵室時,請務必遵守下列指示
?當進入無塵室時
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內。
點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產生灰塵。
●?切勿直接重壓風機過濾器單元機體,以免造成機體變形。
●?請勿以沾濕的手操作機體,以免發生觸電危險。
●?請勿遮蔽機體吸入口及吹出口,機體吸入口及吹出口被遮蔽,將導致機體性能無法正常發揮,造成機體功能異常或電氣部件損壞。
●?實施第三種接地工事,以避免電擊產生之危險。
| 3.安裝使用 |
?
3-1運轉前檢查事項
運轉前請先檢查下列注意事項:
●?機體外部電源是否連接,電源供應是否妥當。
●?機體接地工事是否已實施。
●?機體上方空氣吸入口及下方濾網的保護膜是否已取下。
3-2運轉時注意事項
(1)?開始運轉
●?當電源開啟后,機體即開始運轉。
●?機體運轉后請確認是否有異常現象。
當有下列情形發生,機體無法正常運轉時,請向經銷服務人員反映。
●?機體內部有異物,機體離心風扇無法正常旋轉。
●?機體內部電線脫落,接頭松脫。
●?機體內部電氣部件,如過電源插頭、馬達損壞。
(2)?停止運轉
●?運轉后如發現異常現象,請即切斷電源,停止機體運轉。
| 4.維修?點檢 |
●?自購買日起進行定期檢查,請勿自行檢查,以免造成觸電或火災等事故發生。
●?除了維修人員外,請勿自行拆解、修理或變更規格,以免造成觸電或火災的發生。
●?當更換濾網等部件時,請注意不要損壞濾紙。
●?維修?點檢時,請務必先切斷電源,停止機器運轉后再實施,以免發生觸電或傷害危險。
●?當安裝?維修?點檢完成后,在機體起動前,請確定機體基礎穩固。
4-1日常維護
每天工作開始之前請依表2.點檢下列各項,當發現有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。
表2.?日常維護
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NO. |
點檢專案 |
判斷標準 |
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1 |
離心風扇及馬達 | ?離心風扇必須旋轉平順,沒有產生異常聲音,若聽到異常聲音,請確認送風機內有無異物以及馬達軸承的聲音是否異常,若馬達有問題,請更換馬達。 |
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2 |
濾網 | ?濾網表面有無損傷、污點、骯臟….等 |
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3 |
機體外觀 | ?機體外觀有無損傷 |
4-2定期維護
使用風機過濾器單元一段時間后,因使用環境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉,請務必實施下列定期點檢。
4-2.1定期維護
(1)定期維護項目
請依表3.所示,對風機過濾器單元實施定期點檢,當部件壽命已至時,請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會因使用環境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發生,停機再啟動后,請務必實施相同的檢查。
表3.?定期維護項目
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部件位置 |
征兆及可能原因 |
評價標準,確認點 |
檢查頻率 |
部件壽命 |
| 馬達 | (1)軸承損壞而使馬達運轉不平順或死鎖。
(2)絕緣不良造成過熱、過載導致線圈燒損。 (3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發熱、接地錯誤、層間短路…..等。 |
?確認馬達有無異音、振動及味道,用耳朵確認軸承有無異常聲音。
?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕,更換不良部件。 |
一年一次 |
5年以上 |
| 離心風扇 | (1)因灰塵迭積或破損使得運轉不平衡而損壞。 | ?檢查離心風扇有無異音、振動及破損,更換不良部件。 | 一年一次 |
5年 |
| 其它的電氣部件及配線材料 | (1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。
(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。 |
?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導體,配線表皮破損…..等。
?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。 |
一年一次 |
5年 |
| 濾網 | (1)因阻塞而造成風速減低。
(2)因化學藥品而造成濾網材質、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。 (3)因外部熱源造成濾網材質不良。 |
?目視檢查濾網材質、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。
?檢查泄漏更換不良部件。 |
一年一次 |
?(視不同使用場所需要而定) |
| 外箱
及其它組件 |
因化學藥品而使部件腐蝕或生銹產生灰塵。
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?目視檢查部件有無不良、褪色….等。 | 一年一次 |
其它部件8年 |
表4消耗性部件的更換期間?(?我司建議?)
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部??品 |
更?換?期?間 |
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濾網 |
1-2年(室內清凈度100,000級的場所)??注 |
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初效濾網 |
每3個月(不同場所而有所區別) |
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馬達 |
5年以上 |
注:濾網更換期間會因不同使用場所的差異而有所不同。
4.2.2點檢完成
點檢完成后,清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉狀況;保留點檢報告,當部件更換或機體更新時作為參考。
4-3故障排除
?若有以下現象發生,連絡本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現象(盡可能詳細),然后慎重的調查問題的起因及采取適合的改善措施。
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現????象 |
可??能??原??因 |
改??善??措??施 |
| 離心風扇不運轉 | ?電源未打開
?馬達束心 ?電器件損壞 ?馬達不良 |
?打開電源
?拆除外表的異物 ?更換電器件 ?更換馬達 |
| 離心風扇產生異常者(運轉中) | ?馬達外殼與離心風扇接觸 | ?連絡經銷商及采取適合的改善措施 |
●?非服務技術人員請勿拆解、修理或修改風機過濾器單元,以避免造成嚴重的意外,例如觸電或火災。
| 附錄 |
易損件規格表:
| 序號 | 名稱 | 規格型號 | 單位 | 單臺數 | 備注 |
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1 |
風機 | M-R風機 | 臺 |
1 |
保修期:三年 |
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2 |
電容 | 4uf,500V | 只 |
1 |
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3 |
玻纖無隔板過濾器 | 個 |
1 |
99.99%@o.3um | |
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4 |
初效過濾器 | 個 |
1 |
可清洗 |
●?當需要更換服務備品時,請務必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務人員。
●?任何未經認可之代用品,不僅可能會影響風機過濾器單元的性能,同時可能造成火災、觸電或其它危險。