控制潔凈度(潔凈室的含塵濃度)是潔凈室主要目的,在潔凈室設(shè)計時1~5級的潔凈室常以FFU滿布和高架地板回風(fēng)來實現(xiàn)單向流以滿足潔凈度的要求,6~9級則以高效送風(fēng)口送風(fēng)來達(dá)到潔凈度的要求。在設(shè)計6~9級的潔凈室時同樣可以采用干盤管—FFU系統(tǒng),此時FFU并不需要滿布而用來取代高效過濾器送風(fēng)達(dá)到室內(nèi)潔凈度的要求。
因為電子行業(yè)在不斷的發(fā)展,所以對潔凈室的要求也越來越高,使得很多業(yè)主在改造廠房、擴(kuò)大生產(chǎn)或進(jìn)行實驗研究中滿足新工藝的要求。在改造的廠房中FFU—干盤管系統(tǒng)是一種很合適的設(shè)計方式。潔凈廠房由較多的換氣次數(shù)來滿足室內(nèi)潔凈度的要求,如果采用一次回風(fēng)系統(tǒng),送風(fēng)風(fēng)管與回風(fēng)風(fēng)管的尺寸必然很大,很占用吊頂技術(shù)夾層的空間。
各種管路都在技術(shù)夾層內(nèi),錯綜復(fù)雜,多數(shù)改造項目廠房高度都較低,為了保證潔凈室室內(nèi)高度,一般室內(nèi)凈高為2.6~3.0m,所以吊頂技術(shù)夾層一般只有1~1.5m(廠房為鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)),當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時,風(fēng)管將會占用技術(shù)夾層的所有空間,而且會造成風(fēng)管走不通管道“打架”,高效過濾器與風(fēng)管沒有連接的空間,技術(shù)夾層內(nèi)無法上人,為電氣配電造成困難,運行以后技術(shù)夾層內(nèi)無法上人進(jìn)行檢修。采用新風(fēng)機(jī)組“干盤管—FFU”系統(tǒng)則可以避免這一問題。所謂干盤管(DryCoil)是指干盤管表面溫度高于回風(fēng)的露點溫度,換熱器表面沒有凝結(jié)水析出。
FFU(FanFilterUnit)風(fēng)機(jī)過濾器單元,其中風(fēng)機(jī)為了減小高度而采用外轉(zhuǎn)子后傾式,中間電動機(jī)部分可獨立拆卸以便于維修,電動機(jī)內(nèi)置過載熱保護(hù)裝置、故障指示燈、故障輸出接點、加配調(diào)速控制器和傳感器以利于自控系統(tǒng)控制,FFU需內(nèi)置消音層和均流結(jié)構(gòu),單體要求噪聲在53dB(A)、風(fēng)速0.4m/s以下,箱體材料一般為鋅鋁涂層鋼板。新風(fēng)機(jī)組處理過的空氣經(jīng)FFU風(fēng)機(jī)加壓通過HEPA高效過濾器或ULPA超高效過濾器過濾后送入室內(nèi),過濾器選用HEPA還是UL-PA取決于室內(nèi)潔凈度級別