FFU和一般的高效送風口作用都差不多，都是潔凈室的末端，那FFU又有哪些優勢呢，首先我們了解一下什么是FFU，FFU是UNIT的縮寫，中文叫作“風機過濾器單元”，也就是將風機和過濾器組合在一起構成自身能提供動力的末端凈化設備。早在上個世紀六十年代，美國新墨西哥州Sandia國家實驗室的科學家們利用HEPA過濾的方法研制成功了層流技術，其后商用FFU陸續在美國一些手術室及工業廠房得到廣泛的應用。但直到1984年，在亞洲才出現大規模應用FFU的事例(大約有5000臺)。是什么原因導致FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發展呢？有三個問題占主導地位：噪聲較大問題；壓力平衡問題，在很大的靜壓箱里，各不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的；維護問題，FFU本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業不選擇使用FFU無塵送風機組的主要原因。

FFU有6點獨特的優勢，主要包括以下幾點：

1．靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

2．可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

3．負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

4、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

5、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。

6．節約空間。相比較RCU HEPA系統，FFU DCC MAU系統占用送風靜壓箱內較少層高，且基本不占用潔凈室內空間。而RCU不論是吊掛在天板上方還是設置在潔凈室，均占用不少空間。